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    镭神激光与中科院物理研究所建立合作关系

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    镭神激光与中科院物理研究所建立合作关系

    信息来源:本站 发布时间:2013-12-13 15:58:28 浏览量:124

    近日镭神激光与中国科学院物理所进行相关技术合作-------PLD脉冲激光制备薄膜系统:PLD是将脉冲激光透过合成石英窗导入真空腔内照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume状等离子体状态,然后被堆积到设在对面的基板上而成膜。PLD方法可以获得拥有热力学理论上准稳定状态的组成和构造的人工合成新材料。脉冲激光制备薄膜的优点是:1、薄膜成分容易实现与靶材一致;2、淀积速率快,一般比射频溅射法快6-10倍;3、薄膜质量高,膜层和基底之间互扩散;4、容易引入新的单元技术,如引入高能电子衍射(RHEED)原位实时监测薄膜生长,引入活性气体技术等。5、使用范围宽,尤其适用制备高熔点材料薄膜;6、便于在相对高气压条件下工作。目前该项目已通过物理所验收。

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    2013年12月13日 15:58
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